JPS6199640A - 複合タ−ゲツト材の製造方法 - Google Patents
複合タ−ゲツト材の製造方法Info
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Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59219227A JPS6199640A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 複合タ−ゲツト材の製造方法 |
US06/787,529 US4620872A (en) | 1984-10-18 | 1985-10-15 | Composite target material and process for producing the same |
DE19853537191 DE3537191A1 (de) | 1984-10-18 | 1985-10-18 | Verbundtargetmaterial und verfahren zu seiner herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP59219227A JPS6199640A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 複合タ−ゲツト材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6199640A true JPS6199640A (ja) | 1986-05-17 |
JPH0119447B2 JPH0119447B2 (en]) | 1989-04-11 |
Family
ID=16732190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59219227A Granted JPS6199640A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 複合タ−ゲツト材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6199640A (en]) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111135A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-16 | Hitachi Metals Ltd | 希土類−遷移金属タ−ゲツトの製造方法 |
JPS63118028A (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-23 | Hitachi Metals Ltd | 希土類元素−遷移金属元素タ−ゲツト及びその製造方法 |
JPS63250429A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | イツテルビウム−遷移金属系合金の製造方法 |
JPS63259077A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Mitsubishi Kasei Corp | 合金タ−ゲツト材 |
JPS6425977A (en) * | 1987-04-20 | 1989-01-27 | Hitachi Metals Ltd | Alloy powder of rare earth metal-iron group metal target, rare earth metal-iron group metal target and production thereof |
JPH01123068A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-16 | Nippon Kentetsu Co Ltd | 基材面への薄膜生成方法 |
JPH01142078A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スパッタリングターゲット |
JPH01298155A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-01 | Seiko Epson Corp | スパッタリングターゲットの製造方法 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP59219227A patent/JPS6199640A/ja active Granted
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111135A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-16 | Hitachi Metals Ltd | 希土類−遷移金属タ−ゲツトの製造方法 |
JPS63118028A (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-23 | Hitachi Metals Ltd | 希土類元素−遷移金属元素タ−ゲツト及びその製造方法 |
JPS63250429A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | イツテルビウム−遷移金属系合金の製造方法 |
JPS63259077A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Mitsubishi Kasei Corp | 合金タ−ゲツト材 |
JPS6425977A (en) * | 1987-04-20 | 1989-01-27 | Hitachi Metals Ltd | Alloy powder of rare earth metal-iron group metal target, rare earth metal-iron group metal target and production thereof |
US4957549A (en) * | 1987-04-20 | 1990-09-18 | Hitachi Metals, Ltd. | Rare earth metal-iron group metal target, alloy powder therefor and method of producing same |
US5062885A (en) * | 1987-04-20 | 1991-11-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Rare earth metal-iron group metal target, alloy powder therefor and method of producing same |
US5098649A (en) * | 1987-04-20 | 1992-03-24 | Hitachi Metals, Ltd. | Rare earth metal-iron group metal target, alloy powder therefor and method of producing same |
JPH01123068A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-16 | Nippon Kentetsu Co Ltd | 基材面への薄膜生成方法 |
JPH01142078A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スパッタリングターゲット |
JPH01298155A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-01 | Seiko Epson Corp | スパッタリングターゲットの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0119447B2 (en]) | 1989-04-11 |
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