JPS6199640A - 複合タ−ゲツト材の製造方法 - Google Patents

複合タ−ゲツト材の製造方法

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JPS6199640A JP59219227A JP21922784A JPS6199640A JP S6199640 A JPS6199640 A JP S6199640A JP 59219227 A JP59219227 A JP 59219227A JP 21922784 A JP21922784 A JP 21922784A JP S6199640 A JPS6199640 A JP S6199640A
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土方 研一
Kazuyuki Sato
一幸 佐藤
Hitoshi Maruyama
仁 丸山
Riyouko Furuhashi
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63111135A (ja) * 1986-10-29 1988-05-16 Hitachi Metals Ltd 希土類−遷移金属タ−ゲツトの製造方法
JPS63118028A (ja) * 1986-11-06 1988-05-23 Hitachi Metals Ltd 希土類元素−遷移金属元素タ−ゲツト及びその製造方法
JPS63250429A (ja) * 1987-04-06 1988-10-18 Seiko Instr & Electronics Ltd イツテルビウム−遷移金属系合金の製造方法
JPS63259077A (ja) * 1987-04-16 1988-10-26 Mitsubishi Kasei Corp 合金タ−ゲツト材
JPS6425977A (en) * 1987-04-20 1989-01-27 Hitachi Metals Ltd Alloy powder of rare earth metal-iron group metal target, rare earth metal-iron group metal target and production thereof
JPH01123068A (ja) * 1987-11-06 1989-05-16 Nippon Kentetsu Co Ltd 基材面への薄膜生成方法
JPH01142078A (ja) * 1987-11-27 1989-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd スパッタリングターゲット
JPH01298155A (ja) * 1988-05-27 1989-12-01 Seiko Epson Corp スパッタリングターゲットの製造方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63111135A (ja) * 1986-10-29 1988-05-16 Hitachi Metals Ltd 希土類−遷移金属タ−ゲツトの製造方法
JPS63118028A (ja) * 1986-11-06 1988-05-23 Hitachi Metals Ltd 希土類元素−遷移金属元素タ−ゲツト及びその製造方法
JPS63250429A (ja) * 1987-04-06 1988-10-18 Seiko Instr & Electronics Ltd イツテルビウム−遷移金属系合金の製造方法
JPS63259077A (ja) * 1987-04-16 1988-10-26 Mitsubishi Kasei Corp 合金タ−ゲツト材
JPS6425977A (en) * 1987-04-20 1989-01-27 Hitachi Metals Ltd Alloy powder of rare earth metal-iron group metal target, rare earth metal-iron group metal target and production thereof
US4957549A (en) * 1987-04-20 1990-09-18 Hitachi Metals, Ltd. Rare earth metal-iron group metal target, alloy powder therefor and method of producing same
US5062885A (en) * 1987-04-20 1991-11-05 Hitachi Metals, Ltd. Rare earth metal-iron group metal target, alloy powder therefor and method of producing same
US5098649A (en) * 1987-04-20 1992-03-24 Hitachi Metals, Ltd. Rare earth metal-iron group metal target, alloy powder therefor and method of producing same
JPH01123068A (ja) * 1987-11-06 1989-05-16 Nippon Kentetsu Co Ltd 基材面への薄膜生成方法
JPH01142078A (ja) * 1987-11-27 1989-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd スパッタリングターゲット
JPH01298155A (ja) * 1988-05-27 1989-12-01 Seiko Epson Corp スパッタリングターゲットの製造方法

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